Kratka zgodovina

začetek 60-ih

Začetek raziskovanja tankih plasti v tedanjem Odseku za elektronsko mikroskopijo. Prve napršene tanke plasti je leta 1962 pripravil prof. dr. Boris Navinšek v  narejeni napravi. Delovala je po principu diodnega naprševanja.

konec 60-ih

Merjenje razpršitvenih koeficientov. Leta 1967 je prof. Navinšek skonstruiral napravo za ionsko obstreljevanje, s katero je meril predvsem razpršitvene koeficiente kristalov alkalnih halogenidov. Ti rezultati so še danes referenca v vseh datotekah s tega področja.

1978

Nakup prve profesionalne naprave za naprševanje tankih plasti Balzers Sputron. Prvi vidnejši dosežek s to napravo je bil razvoj in izdelava standardov za profilne analitske tehnike, ki smo  jih naredili za National Bureau of Standards (NBS) in podjetje Perkin-Elmer.

1980

Konstrukcija in izgradnja nizkoenergijskega pospeševalnika za ione (30 keV). Z njim smo merili topografske spremembe in radiacijske poškodbe pri obstreljevanju materialov z ioni ter razpršitvene koeficiente v odvisnosti od parametrov snopa.

1982

Začetek raziskav trdih prevlek. V eksperimentalni napravi Sputron smo nanesli prve TiN-prevleke, poleg testnih vzorcev tudi na rezalne ploščice iz karbidne trdine. Skonstruirali in doma izdelali smo še manjši naprševalnik, ki je omogočal nanos prevlek na orodja s komplicirano geometrijo (svedri, frezala, navojni vrezniki). Tako so bila že leta 1982  slovenski industriji na voljo prva doma narejena “zlata” orodja.

1985

Ustanovitev Centra za trde prevleke v Domžalah in nakup profesionalne naprave za naparevanje. Prvi uspešni preizkusi “zlatih” orodij v industrijski proizvodnji, so omogočili realizacijo zelo ambicioznega projekta – postavitve Centra za trde prevleke, ki je bil slavnostno odprt 18. 12. 1985. Instalirali smo napravo za naparevanje Balzers BAI730 z vso potrebno periferijo in začeli nanašati prevleko TiN na orodja. Sledilo je večletno trdo delo pri uvajanju te tehnologije v slovensko in takratno jugoslovansko industrijo, med drugim tudi s številnimi obiski v industrijskih obratih in seminarji, ki smo jih izvedli za tehnologe iz industrije.

1992

Do tega leta je bila TiN edina trda prevleka, na voljo za industrijo. Leta 1992 smo razvili prevleko CrN in jo ponudili industiji. Članki o razvoju in implementaciji CrN-prevleke so še danes med najbolj citiranimi članki sodelavcev odseka. Članek P. Panjan, B. Navinšek, I. Milošev: “Industrial applications of CrN (PVD) coatings, deposited at high and low temperatures”, Surf. Coat. Technol. 97 (1997) 182 je bil citiran že več kot 200-krat.

2002

Nakup naprševalnika CemeCon CC800/7 s štirimi magnetronskimi izviri. Omogoči nanašanje večkomponentnih prevlek (TiAlN), ki smo jih vpeljali v industrijo, kakor tudi večplastnih prevlek (npr. TiAlN/TiN). Slednje so bile osnova za simulacijo nanašanja prevlek v sistemu z večkratno rotacijo, ki smo jo nadgradili z računalniškim programom za napoved večplastne strukture.

2008

Nakup naprševalnika CemeCon CC800/9 s štirimi magnetronskimi izviri in možnostjo pulznega napajanja. Omogoči nanašanje nanoplastnih, nanokompozitnih in nizkotemperaturnih prevlek. V industrijo postopoma vpeljemo patentirano modro nanoplastno prevleko AlTiN, samomazivno prevleko aCN in nanokompozitno prevleko TiAlSiN.

2017

Nakup naparjevalnika Kobelco AIPocket, ki deluje po principu naparevanja s katodnim lokom. Omogoča nanos primerljivih prevlek kot z magnetronskim naprševanjem, obenem pa nam daje možnost primerjalne analize prevlek, pripravljenih z različnimi tehnikami