Naprave za nanos

Nanos prevlek

V Odseku imamo šest naprav za nanos trdih PVD-prevlek, od tega tri v Centru za trde prevleke in tri v prostorih Odseka v Ljubljani. Z njimi nanašamo tanke plasti, tako na testne vzorce v raziskovalne namene kot tudi na orodja za industrijske partnerje.


Naparjevalnik Kobelco AIPocket

  • proizvajalec: KCS Europe, Nemčija
  • maksimalna dimenzija orodij: ∅360 × 300

Princip delovanja naprave je tehnika naparevanja s katodnim lokom, ki je danes v svetu najbolj razširjena za nanašanje trdih prevlek. Naprava se odlikuje po kratkem ciklu delovanja, kar vključuje hitro črpanje in visoko hitrost nanašanja prevlek. Postopek je v celoti računalniško krmiljen z izpisom protokola za vsak nanos. V industrijskem obsegu nanašamo prevleko TiAlN, v manjši meri pa tudi prevleke TiAlSiN, AlTiN, TiN in CrN.


Naprševalnik CemeCon CC800/9CC_800_9

  • proizvajalec: CemeCon, Würselen, Nemčija
  • maksimalna dimenzija orodij: Ø400 mm x 400 mm

Deluje po principu magnetronskega naprševanja iz štirih izvirov in omogoča delovanje v treh režimih: enosmerni, klasični pulzni in pulzni pri visoki vršni moči (HiPIMS). Lahko nanašamo tudi neprevodne prevleke (npr. Al2O3) in nizkotemperaturne prevleke (CrN in TiN). V tej napravi izvajamo vse zahtevnejše testne nanose nanoplastnih in nanokompozitnih prevlek ter prevlek z gradientno sestavo. Postopek je v celoti računalniško krmiljen z izpisom protokola za vsak nanos. V industrijskem obsegu nanašamo prevleke AlTiN, TiAlSiN, CrN in aCN. Sicer pa lahko pripravimo poljubne nitridne prevleke na osnovi Ti, Al, Cr, V, TiAl, AlTi in TiSi.


Naparjevalnik Balzers BAI 730 BAI730

  • proizvajalec: Oerlikon Balzers, Liechtenstein
  • maksimalna dimenzija orodij: Ø160 mm x 200 mm

Naprava deluje po principu naparevanja iz lončka s pomočjo elektronskega curka. Omogoča ekonomičen nanos enostavnih nitridnih prevlek na orodja. V industrijskem obsegu nanašamo TiN in CrN.


Naprševalnik Balzers Sputron sputron

  • proizvajalec: Oerlikon Balzers, Liechtenstein
  • maksimalna dimenzija orodij: Ø200 mm x 50 mm

Naprava deluje po principu triodnega naprševanja. Naprava je zelo fleksibilna in omogoča nanos različnih vrst prevlek, zato jo pretežno uporabljamo v raziskovalne namene, omogoča pa tudi nanašanje na manjša orodja. Nanašamo lahko nitride, karbide in okside različnih kovin, kakor tudi kovinske tanke plasti.


Naparjevalnik Balzers BAK 600 BAI 600

Naprava je povsem predelana in ima vgrajen izvir za naprševanje (planarni magnetron) ter izvir za naparevanje (elektronski top). Uporabljamo jo zgolj za eksperimentalno delo.


Eksperimentalna komora lastne izdelave

Fleksibilna zasnova omogoča prilagajanje različnim postopkom nanašanja. Namenjena je izključno eksperimentalnemu delu. Poleg standardne diagnostike je nanjo priključen še kvadrupolni masni spektrometer, razelektritvene procese pa spremljamo tudi s hitro kamero.